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Corrosão de silício por jato de plasma em alto vácuo
- Autor: Leandro Leite Tezani
- Categoria: Teses e Dissertações
- Idioma: Português
- Fonte: Programas de Pós-graduação da CAPES
- Instituição/Programa: ITA/FÍSICA
- Área Conhecimento: FÍSICA
- Nível: Mestrado
- Ano da Tese: 2010
RESUMO
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