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Influência das propriedades estruturais e parâmetros de deposição sobre a dureza e a tensão (stress) intrínseca dos filmes finos amorfos de carbono-nitrogênio
- Autor: Paulo Cesar De Matos
- Categoria: Teses e Dissertações
- Idioma: Português
- Fonte: Programas de Pós-graduação da CAPES
- Instituição/Programa: UNIVAP/FÍSICA E ASTRONOMIA
- Área Conhecimento: FÍSICA
- Nível: Mestrado
- Ano da Tese: 2006
RESUMO
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